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近一段时间,清华方案绕过光客机直接到光客厂的新闻在中文互联网上传的沸沸扬扬。这些传闻的来源其实是清华大学物理系教授唐传祥和博士生邓秀杰去年发表的物理学报上的一篇论文, 其中有一节聊到了清华 ssmb euv 光源的话题。把零散的传闻信息整理后,我们得到了一个十分精彩的故事。 这个故事的耿盖世清华打破了光刻机是一台机器的固有认知,放弃在受限的空间里实现精密控制的企图,转而用力大专飞的土办法建立一个弓长大小的装置,并造出了先进制成的芯片。 不但颇有我们小时候听过的带铅笔上太空和大功率风扇吹纸箱子味道的爽闻。承上最近国内半导体领域取得阶段性突破的东风,以肉眼可见的速度火热了起来。光刻机即将突破 卡脖子阿斯麦老板急了,甚至国内半导体即将拳打阿斯麦脚踢台阶店的论调随着传闻的扩散,纷纷占领各个社交平台的热榜,并引发了激烈讨论。有了解内情的网友曝光了这个项目正在雄安新区选址建厂。 更有好事者扒出了北京某处一个环星建筑的卫星照片,声称这就是清华光课场的位置。不少关注我们的差友也对这个大力出奇迹的神秘建筑兴趣十足。最近几天,差评军的后台里每天都能收到好几次催更清华 e o b 光课机的私信。 在经过资料查证后,他们就不得不先给期待看爽文的差友们泼一盆冷水。网传那个长得像大圆球的光客场卫星照片,实际上是北京怀柔区在建的我国第一台高能同步辐射光源。虽然和传说中的光客场所用的 s cmb euv 光刻技术同样基于粒子加速器,但北京再建了这口大锅的真正作用是利用超级 x 光研究物质结构和光刻场的。传闻八竿子打不到一块,那么真正的光刻场真的存在吗? 他有可能静静地藏在某个隐秘的角落吗?传说中力大专飞的方案真的能简单粗暴的帮我国半导体产业一举突破多年卡脖子的困境吗?大家好,我是差平君,今天我们来聊聊传闻中剑指阿斯迈的光客场到底是个啥? 要回答这个问题,我们首先要搞清楚光刻机是怎么造型片的。光刻机其实可以被简单理解成一台精度超高的胶片相机。当我们手持相机按下拍照按钮后,快门被打开,光线通过快门投射在底片上,使胶片表面的感光材料发生反应,就能得到一张 包含图像信息的底片。而芯片制造的过程中用到了三个主要部件,眼膜、光刻胶和机片就分别对应着快门、感光材料和胶片。在光源的照射下,光线通过刻有电路图案的眼膜板,使龟片上的光刻胶发生反应, 就能将眼模板上的图案复制到机片上,得到我们设计好的芯片电路了。不过,虽然光刻的原理很简单,但要实现精确控制却不容易。 在过去几十年大体遵循摩尔定律的半导体产业中,相同体积的集成电路上可容纳的晶体数量每两年增加一倍,而每次集成度的提高,实际上都对光刻技术提出了更高的要求,倒逼制造商们为了跟上步伐,找到更精确的光刻方法。 那么,如何才能实现更加精确的光刻呢?那就要提到这个在阿斯妙每个办公室的显眼位置都能看到的公式。 等号左边的 cd 指的是分辨极限,其光学系统能在镜面上加工的最小线宽,数值越小,表示光刻机能制造的极限,精度越高。等号右边的 lamda、 nak、 one 三个参数分别代表着波长、数字孔径和工艺因子。 波长越小,能够分辨的尺寸就越小,分辨率越高。数字口径越大,能够分辨的尺寸也越小,分辨率也越高。工因子越小,可分辨的尺寸越小,分辨率越高。可以看出,要获得更精确的光刻系统,可以走的路有三条, 增大数字孔径、减小光刻工艺,因此或者减小波长。一九八零年光刻机被发明后,就在围绕着这三个点不断迭代。二十一世纪后,光刻机的工作原理已经从等背光刻引进到微缩投影光刻,在这个过程中使用的光源波长也从四百三十六纳米的可见 光发展到一百九十三纳米的 duv 深紫外光。基于 duv 光源台阶的零本间,又研究出以水作为介质的浸润式光刻技术,通过增大数值孔径的方法,让光刻机的理论分辨率达到了二十二纳米, 到了十四纳米以下。虽然理论上可以用 l、 e、 l、 e、 s、 a、 q、 b 等多重曝光方法进行生产,但对应的粮率和成本一直居高不下。 比如英特尔曾经在二零一六年上马的十纳米项目,就因为粮绿的问题一直延期。用了好几年的十四纳米加价。 时间到了这个地步,继续在工艺上雕花,显得得不偿失。于是,人们开始尝试另一条路,找到更小波长的光源。经过一番寻找后,波长仅为十三点五纳米,比 dov 短了十五倍的 euv 极子外光成了合格接班人。目前九大多数七纳米以下的芯片都采用 euv 光源的光刻机制造。 现阶段,人类能够实现产生极子外光的方式总共有四种,同步辐射光源、自由电子激光电激发等离子力光源。激光激发等离子力光源目前唯一供应商阿斯麦尔使用的是第四种方法,即使用高能二氧化碳激光轰击液态金属吸激发极子外光。 十几年前,人们就发现,利用高功率的激光击打金属硒,能够产生高温、高密度的等离子体,辐射出极子外光。 但这种方法只能激发一次,产生的光源强度很低,无法支撑光刻所需。而 l p p 的工作原理,简单来说就是用高能二氧化碳激光瞄准不断下落的目标。两次打靶, 第一枪先用预脉冲开一枪,把吸炸成一团足够大的雾,再由主脉冲瞄准这团雾发射。在两次命中之后,吸地温度被瞬间加热到五万开, 成为等离子体,必释放出波长在十三点五纳米的 euv 光子喷枪,每秒大约释放五万个 cd, 每一个都重复上述过程,我们就能得到功率稳定的 euv 光源了,当然,仅有光源还远远不够。 相比起 dov, 波长更短的 eov 是个很难伺候的家伙。首先, eov 辐射几乎能被所有物质吸收,不能穿透纯净水,就连气体都在 eov 波段表现出强烈的吸收特性。 因此, euv 成像没有办法用 duv 那样的进入式方法提高精度,并且必须在真空中工作。其次,在 euv 波长范围中,几乎所有的光学材料都变得不透明,所以不能使用过往光合机采用的透镜方案,只能用反射式光学系统, 这让整个系统的复杂度大大升高。据统计, e u v 光刻机要整整十一次反射,才能把一束光从光源投射到近远。 而且为了让 euv 跟可见光一样完成反射、聚焦和成像而不被吸收,还必须给成像系统的镜面上涂上一种既昂贵又精密的多层膜涂层。最后,伴随着精度的提升, euv 光刻机对光源的发射功率也提出了更为苛刻的要求。 要想实现商用,所需的光源至少需要达到两百到两百五十瓦的功率。虽然这个数字听起来不大,但经过上面这一番折腾转化,效率感人。要激发出达到这个标准的 uv 光,需要动用的激光功率动则几千瓦,和前几年海军试射的电磁炮功率相当。 承诺限制下,要把 e u v 光源用到光刻机上,既不容易也不便宜。目前唯一一套投入商用的 e u v 光源是激光器公司 trump 阿斯妙联合研发了足足十五年才得到的成果,而且中途阿斯妙还差点放弃,还是三星台机电、英特 尔三位大佬下场认购了大量阿斯妙的股份为其输血,才能让这根独苗带着摩尔丁的最后希望挺到今天。而盛传的所谓的清华 ssmb euv 方案,实际上是想用另一种不同的思路制造 euv 光源。 在加速器实验中,人们发现带电粒子在环形跑道中运动时,会不断辐射光子,这种辐射被称为同步辐射, 这种现象本身会导致能量溢散,对于高能物理学家的实验有百害而无一利。但人们逐渐发现,由于光子方向严格,沿着电子运动的切线,这种方式得到的光线跟激光一样,又准又直,能量又高,实在是一种好用的光源。 由于电子运动是一个不断加速的过程,不同能量的电子数还能跑出不同波长的光,无论是要远红外可见光、紫外线还是 euv 加速,其中的力 都能给跑出来。于是人们开始琢磨如何利用这种优质光源。目前人们已经开发出了许多基于同步辐射光源的应用,但同步辐射光源产生的 euv 光功率还是达不到 euv 光和大规模量产的需求。 精华的项目则是为生成大功率的 uv 光源提供了一种新方案。二零一零年, renner 和 chow 两位科学家发现,电子术绕过加速器时受到磁场的作用,会形成被两人称作微距数的精细微结构, 再让这种微距数穿过激光,经由激光和电子缠上的相互作用,最后形成一种稳态排列及稳态微距数。 有了稳态微技术,就能用加速器产生高功率的稳态光线。所以从二零一七年开始,清华大学就组建了专门的 s s m b。 光源研究团队,针对 e u v 光刻对大功率 e u v。 光源的需求,研究基于 s s m b。 原理的 e u v 光源的物理 及技术实现。从原理上来说,虽然加速器占地面积大,配套设施多,建设起来价值不菲,但这确实是一套能够逻辑自家的方案。但是方案可行,并不代表实施起来就没问题。而且 ssmb 的研究虽然是在同步辐射加速器的基础上进行的,但两者原理上还是有很大的差别。 如果要把现有的同步辐射光源设施改造成所谓的光刻长,基本上相当于重建。在清华的论文中也提到了要实现用 ssmb 方式获取稳定的光源,还有比如激光调制器啊、长脉冲注入系统、直线感应加速器等,技术环节需要公关, 并且需要配套比现有的同步辐射光源更高精度的磁铁和控制系统。至少目前这种理论还只是论文上的纸上谈兵,要到可用的级别,未必比 lpp 方案离我们更近。要知道,从一九九七 年英特尔拉诺、 amd、 摩托罗拉开始研究 euv, 到二零零六年诞生第一台原型机,足足过了十年之久。甚至到几年前, euv 光客机能否商用在半导体行业,依旧是个开放性的问题。 而且就算搞定了光源部分,也只是拿下了光刻机技术工业皇冠上的一颗明珠。作为人类有史以来最复杂的科技结晶,光刻机是个无比庞大的环节,除去光源,还有雾镜系统、双工作台光刻胶等等环节。 根据民生证券的光刻机国产和报告,截止到二零二三年四月,我国光刻机雾镜系统才刚刚突破九十纳米,与卡尔蔡斯尼康还有着巨大差距。 而在双工台光刻胶、闲鱼设备等其他环节上,虽然国产不断取得突破,但距离国际先进水平都尚有距离。即使清华真的把光刻机变成了光刻厂,这些配套问题的解 也不再是一朝一夕。但对刚刚在三年制裁力喘了口气,在芯片战场上扳回一场的国产半透体来说,无论如何,这都不算是个坏消息。这次光客场传闻的出圈,也声明了广大人民群众对这个领域的关心和突破的喜闻乐见。不过,光客机毕竟是科学而不是玄学的朋友, 作为吃瓜群众的我们也应当以更理性的态度对待技术进步,不能沉迷到弯刀超车讲故事的宏大趋势里理性的讲。清华论文里提到的 smb 方案,确实是一个逻辑自差的 eov 光源方案,但距离能够量产国产的 eov 光刻机还有相当遥远的距离。 虽然吃瓜群众们能够尽可能简化其中的技术细节,把它包装成力大专飞的举地榴弹或者自带温控的澡堂之后,能够得到一个听起来让人热血澎湃的爽文故事,但剥去层层比喻之后,它的本质 依然是一种以实现这个星球上目前为止最高精尖工业为目标的路径。对于大多数人来说,数学之所以难,就难在不会就是不会。同理,作为真正的工业明珠,无论怎么绕路,都不可能绕出一条一步登天的进道。 如果我们在近几年能够看到一台国产的 e v 光刻机,它是上海光机所的 l p p e u v 或者是哈工大的 d p p e u v 的可能性要大得多。 在叉门军看来,清华的 ssmb 方案真正的意义更多的是给国产光刻机多着了一条腿走路。毕竟不论是 ssmb、 lpp、 dpp, 不管白猫黑猫,造的出芯片的才是好猫。而至于哪只猫先抓到 euv 光刻机这只狡猾的老鼠,就要看各位行业大佬各自的努力和怎么过了。

笑一个, 喂,你们干什么的? 那这就是我们隔壁电子厂霸王厂花金如姐,金如姐有什么指示呢? 杀,哎,君如姐来我们厂了,还要面试吗?然后他家还差一个组长离开入职。不行,我一向凭实力做事,你面试流程该手手该问的问。呃, 为什么选择我们服装厂呢?我们厂没有靓仔过来泡你们的赏赏。 ok, 白安卫裤,请问你对待遇有什么要求?待遇什么都无所谓,把我安排去你们赏赏那舌尖就行了。 no, 花不了。接下来请问你有什么才艺或特长呢?我 才艺狮吼功 好。太好了,不愧是傻,简直才貌双全。没钱直接来报道,这是公司给新入职同事准备的福利, 苹果十三很贵的哦。哎,不贵不贵,这是我在拼多多百亿补贴买的。百亿补贴双十二 iphone 十三直降一千多点评论区致领链接货,拼多多搜三八零零三这天直接领就好了。 长草长草,连夜劈头跑路了。什么给我吹啊,哎呀,你不要走啊。

那些年,校园里的神仙家长,这次的校园贫困补助只有一个名额啊,想申请的同学把这张表填一下 来。小明,这是你的补助金,密码八个。八。老师啊,凭什么把这一个名额给了他?我给我给谁啊?我的家庭是什么情况啊?你们不造吗?我真不理解啊,他家明明七个公司,八个工厂九个别墅,在香港,谈何贫困啊?是啊,马兄想, 咱们这些连马仕达都买不起的家庭,那是一个 w 也拿不到啊!其实这钱根本不用我们来要,因为因为什么?因为这钱你们根本要不到,我劝你们还是放弃吧。 你这是在学校挨欺负了?岂有此理,他们居然把补助发给土豪,顺着咱家马上就要 揭不开锅了,这点比卡你就抽和翅吧。明天带俺去学校,这钱俺还真得要通知一下啊。昨天的补助金名额弄错了,不是一个,而是四个。向平,你一会下课给麻花,他们三个把钱分一下。老师啊,那钱我早就花完了,还分什么分啊。花,花完了, 那花完也得分。你知道俺家孩子这些年都怎么过的吗?那裤衩子都给穿没了。你家那算什么?我家孩子连续租了五百年房,我都快成房东了,你们娘家都不中。俺家孩子从小就住在山 董事长那他妈连房子都没见过呀,社会家长。冤枉啊。这不至于,我今天打算给孩子们分啊,可是那粉头发给我花完了,我也没办法呀。 看什么看,反正我没钱。没钱我们就把你放了。没有有,我们国家有七个公司八个工厂,九个别墅,在香港,我马上让你们当董事长。

今天我们讲一个百分之九十九的人都不知道的中国阿胶巨头之战。首先我想问你啊,如果你要买阿胶的话,你会选东阿阿胶还是福牌阿胶?如果你不是山东人啊,应该大概率会选择东阿吧, 因为在你的认知里啊,东阿就代表了阿胶,貌似他啊已经封杀了品类。但今天我想说几个你可能不知道的冷知识啊,第一,东阿阿胶厂啊,是一九五二年福牌阿胶厂派技术人员帮忙建立的。第二,福牌阿胶的福字啊,是咸丰皇帝亲笔御赐的, 当年咸丰皇帝的兰贵人,也就后来慈禧太后啊,因为得了血症,总是小产,后来是吃了树德堂,也就是现在福牌阿胶的阿胶才得以顺利产下同治皇帝。所以这个企业的人经常会讲,我们是一家改变了中国历史 企业。这个圣旨呢,现存于福牌阿胶的博物馆。这个福字啊,虽然丑了点,但是是皇帝真迹。第三,海外唐人街的华人啊,最喜欢的阿胶是这个老包装的福牌。那既然这样的话,为什么东阿阿胶的名气会更大呢? 由东阿被华润收购以后啊,非常注重营销,并提出了滋补国宝东阿阿胶的口号啊,一时风头无量,几乎把东阿和阿胶划上了等号,抢占了用户心智。这个时候,如果你是福牌,该怎么做呢?福牌的杨福安杨总啊,这个时候找到我们,希望能扭转战局, 我们经过市场研究和洞察,帮他确立战略的第一步是正本溯源啊,提出了国宝贡胶福牌阿胶的口号,以示正宗,且突出皇家贡胶的背书,拉平和东阿阿胶 的高度,但对于消费者已经形成的固有认知啊,这个肯定还不够,必须再彰显与主竞品的区格。所以第二步提出的口号是,懂阿胶选福牌。字面意思很好理解, 山东原产地的消费者大多都会选择副牌,你为什么不呢?再加上所有的历史故事做背书,让佛教用短短两年多的时间啊,就 在销售量上超过了东阿阿胶。不好意思,差点忘了,后来东阿阿胶啊也成了我们的客户啊。当然,这是另外一个故事了,我是关于品牌说,专注打造西分赛道的冠军品牌。