光刻机板块专精特新小巨人,主营光刻气,产品获光刻机巨头ASML认证

光刻机板块小美是哪一只

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发布时间：2025-11-02 09:15

财报翻译官

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光刻机板块的细分龙头#股市#股票#知识分享 #股票分析
1.整机与核心生态：张江高科(600895)，作为上海微电子第一大股东，是国内唯一光刻机整机研发的核心资本载体，主导产业链生态整合。
2.光学系统：
◦奥普光电(002338)，背靠中科院长春光机所，是光刻机光学系统研发的“国家队”平台，承担国家02专项光刻机物镜系统研发任务，自主研发的纳米级光刻机工作台国内市占率超60%。
◦茂莱光学(688502)，国内超精密光学元件绝对龙头，产品覆盖DUV/EUV光学模组，可提供光刻机物镜系统的透镜、棱镜等核心部件，技术精度达纳米级，部分产品已通过ASML认证。
3.光源系统：
◦福晶科技(002222)，全球激光晶体领域绝对龙头，是光刻机光源核心材料LBO、BBO晶体的唯一国产供应商，占据全球80%的市场份额。
◦凯美特气(002549)，国内唯一通过ASML子公司Cymer及日本GIGAPHOTON认证的光刻气供应商，产品纯度达99.9999%，支撑KrF/ArF光刻机光源系统。
4.关键子系统-物镜与控制系统：赛微电子(300456)，在光刻机物镜技术领域实现关键突破，其MEMS镜片成功打入ASML供应链，是国产光刻镜头核心供应商之一。
5.关键子系统-洁净设备：
◦蓝英装备(300293)，光刻机晶圆清洗设备国产替代唯一龙头，其瑞士子公司为ASML提供EUV清洗设备，精度达0.1um以下，技术水平全球领先。
◦美埃科技(688376)，国内光刻环节洁净系统龙头，是中芯国际、长江存储光刻环节洁净系统的主供应商。
6.关键子系统-温控系统：同飞股份(300990)，光刻机激光器温控设备唯一国产供应商，热管理技术达到国际先进水平，可满足光刻机运行过程中对温度的精准控制需求。
7.光学器件与结构件：
◦富创精密(688409)，经ASML认证的光刻机反应腔精密金属件全球供应商，专注于半导体设备精密结构件研发制造，客户涵盖ASML、AMAT等全球设备巨头。
◦新莱应材(300260)，高端真空与气体管路系统领军企业，产品用于光刻机真空腔体和气体传输，成功解决光刻机气路污染的“卡脖子”问题。
8.材料与工艺：矩光科技(688167)，光刻胶国产核心，是国内唯一量产ArF光刻胶企业，配套28nm制程。
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