步进式光刻机能达到多少nm

光刻机这个东西到底有多变态？他的工作就好比在苍蝇翅膀上画清明上河图，而且每个人的头发丝都得清晰可见。一台高端光刻机的配件需要十六个国家约五千多家供应商提供，而且这五千家单另出来，每一个都是细分领域的王者。所以光刻机可以说是人类间断技术的集合体。 下面咱们简单介绍一下光刻机的核心技术，体会下这东西有多厉害。光刻机的工作原理简单说分为三部分极子外光、发光源、用来调整和聚焦光线的镜头，以及用于光刻的精源。先说这极子外光，极子外光堪称最亮的光，大自然是不存在的，是人类造出来的东西。 激光发生器工作时，需要以二十千瓦的功率，五万次每秒的频率击打二十微米的吸地，这样才能产生波长极短的机子外光。输入。一万瓦的功率，只能产生一瓦的机子外线。而且机子外线在反射纠正光路的途中，大部分 又会被吸收掉，最后只有约百分之二能到达芯片上，所以这一过程极其耗电。没错，光科技的耗电量非常高，台机电每年光电费就要好几百亿。下面该说反射极紫外光的光学镜头了，没有光学镜头，再牛的极紫外光也白搭。光学镜头，简单的说就是磨玻璃， 那这个玻璃需要多么光滑，多么平整呢？平面都误差在两纳米左右。举个例子，把直径一米的镜头放大到地球这么大，表面的凸起比头发丝还小。这是因为机子外光需要多次反射修正光路，每一次反射都会放大误差，所以对镜头要求极其严格。 目前高端的光科技镜头只有蔡司一家人造，少了他，光科技就得停产。磨玻璃都能磨到这种境界，实在让人佩服。 最后的经元就不展开说了，毕竟那不算光科技的一部分。目前传统光科技快发展到头了，因为基础物理的发展停滞不前，所以基于光科技如此复杂，想要追赶实在太难，而且短期的投入很难见到效果。我觉得想要追赶只有弯道超车，开发新的科室技术了。