mocvd制备晶圆过程

m o c v d 全名为金属有机化学气象沉积，又可叫做金属有机气象蔓延，是一种在精元上沉积超薄单精藏的技术。 m c v d。 是将金属有机化合物作为前躯体，在反应腔中，这些前躯体在高温下热分解，释放出金属元素，随后金属元素在衬底表面形成薄膜。 m o c b d。 不仅用于深化家、淡化家、碳化硅等半导体材料的沉积，还可以用于铜、铝等金属单制的沉积，甚至可以用于磷化物等非金属材料的沉积，在光电子和高功率电子器件中应用十分广泛。