碳化硅晶圆生产工艺流程示意图

芯片是金元切割完成的半成品，每片金元集成了数百颗芯片，每颗芯片由成千上万个元包组成。一个元包的加工工艺分为五个步骤，第一步，注入眼膜。首先清洗金元电机一层氧化硅薄膜，接着通过云胶、 报关、形影等工艺步骤形成光刻胶图形，最后通过刻石工艺将图形转移到刻石眼膜上。第二步，离子注入。将做好眼膜的金元放入离子注入机，注入铝离子，之后移除眼膜，注入淡离子， 静心退火以激活注入离子。第三步，制作山吉，我们在金元上一次电击山氧层，山电基层 形成门级控制结构。第四步，制作钝化层电机一层全源特性良好的电界制层，防止电极间击穿。第五步，制作漏源电极，在钝化层上开孔并建设金属，形成漏源电极。 当漏源电极和筛源电极之间加正压时，勾到开启电子从原级流向漏级，产生从漏级流向原级的电流。至此，一个基本的功率器件及原包就制作完成了。成千上万的原包组成芯片 在集成到金元趁地就有了像彩虹一样灿烂的金元。而金元的碳化硅趁地则是由物理气象传输法 pvt 植被经碳化硅粉料的分解与升华、气体的传输与沉积、切磨、抛一系列工序而成。 采用碳化硅芯片取代传统硅机芯片，可以有效提高工作效率，降低能量损耗，减少碳排放，提高系统可靠性，缩减体积，节约空间。