工信部推广国产氟化氩光刻机：分辨率≤65nm

氟化氩光刻机分辨率是什么

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发布时间：2024-09-18 11:54

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电子专用设备里有氟化氩光刻机。氟化氩光刻机是新一代DUV光刻机
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