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光刻机板块的细分龙头#股市#股票#知识分享 #股票分析 1.整机与核心生态:张江高科(600895),作为上海微电子第一大股东,是国内唯一光刻机整机研发的核心资本载体,主导产业链生态整合。 2.光学系统: ◦奥普光电(002338),背靠中科院长春光机所,是光刻机光学系统研发的“国家队”平台,承担国家02专项光刻机物镜系统研发任务,自主研发的纳米级光刻机工作台国内市占率超60%。 ◦茂莱光学(688502),国内超精密光学元件绝对龙头,产品覆盖DUV/EUV光学模组,可提供光刻机物镜系统的透镜、棱镜等核心部件,技术精度达纳米级,部分产品已通过ASML认证。 3.光源系统: ◦福晶科技(002222),全球激光晶体领域绝对龙头,是光刻机光源核心材料LBO、BBO晶体的唯一国产供应商,占据全球80%的市场份额。 ◦凯美特气(002549),国内唯一通过ASML子公司Cymer及日本GIGAPHOTON认证的光刻气供应商,产品纯度达99.9999%,支撑KrF/ArF光刻机光源系统。 4.关键子系统-物镜与控制系统:赛微电子(300456),在光刻机物镜技术领域实现关键突破,其MEMS镜片成功打入ASML供应链,是国产光刻镜头核心供应商之一。 5.关键子系统-洁净设备: ◦蓝英装备(300293),光刻机晶圆清洗设备国产替代唯一龙头,其瑞士子公司为ASML提供EUV清洗设备,精度达0.1um以下,技术水平全球领先。 ◦美埃科技(688376),国内光刻环节洁净系统龙头,是中芯国际、长江存储光刻环节洁净系统的主供应商。 6.关键子系统-温控系统:同飞股份(300990),光刻机激光器温控设备唯一国产供应商,热管理技术达到国际先进水平,可满足光刻机运行过程中对温度的精准控制需求。 7.光学器件与结构件: ◦富创精密(688409),经ASML认证的光刻机反应腔精密金属件全球供应商,专注于半导体设备精密结构件研发制造,客户涵盖ASML、AMAT等全球设备巨头。 ◦新莱应材(300260),高端真空与气体管路系统领军企业,产品用于光刻机真空腔体和气体传输,成功解决光刻机气路污染的“卡脖子”问题。 8.材料与工艺:矩光科技(688167),光刻胶国产核心,是国内唯一量产ArF光刻胶企业,配套28nm制程。
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