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气体2周前
芯片制造中常用的气体 氮气(N2)用于排出残留在气体配送系统和工艺腔中的湿气和残余气体,也可以作为淀积工艺载气,防止材料氧化。 氩气(Ar)惰性气体,用于填充工艺腔体,为硅片加工提供稳定惰性环境。 氦气(He)工艺腔气体,也可以用于真空室的漏气检查。 氢气(H2)还原性气体,在外延工艺中用作运载气体,也可以在热氧化工艺中与O2反应生成水蒸气 。 氧气(O2)工艺腔气体,为氧化反应提供氧源。 砷化氢(AsH3)N型硅离子注入的砷源。 磷化氢(PH3)N型硅离子注入的磷源。 乙硼烷(B2H6)、三氟化硼(BF3)、三氯化硼(BCl3)P型硅离子注入的硼源,其中BCl3也可以作为金属刻蚀中所用的氯源。 正硅酸乙酯(TEOS)(Si(OC2H5))TEOS是气相沉积工艺的二氧化硅源,用于形成栅极介质层与绝缘层 。 硅烷(SiH4)、四氯化硅(SiCl4)、二氯硅烷(DCS)(SiH2Cl2)气相沉积工艺的硅源。 三氟化氮(NF3)、四氟甲烷(C2F4)、四氟化碳(CF4)等离子刻蚀工艺中的氟离子源。 六氟化钨(WF6)金属淀积工艺的钨源,用于制备金属导线与电极。 氯气(Cl2)金属刻蚀中所用的氯源。 氯化氢(HCl)工艺腔体清洁气体和去污剂,去除内壁残留沉积物,保障工艺稳定性。 氨气(NH3)用来和SiH2Cl2反应生成淀积所用的SiN3。 一氧化氮(N2O)用来和硅反应生成SiO2。#工业气体 #特种气体
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#创作灵感 #液氮的作用与用途#工业气体储罐 ##专业生产厂家 氮气是一种无色、无味、无臭的惰性气体,在日常生活和工业生产中有着广泛的应用,以下为你详细介绍其主要作用与用途: 工业领域 - 保护气 - 金属焊接与切割:在焊接和切割金属时,氮气可以作为保护气,防止金属在高温下与空气中的氧气发生反应,避免氧化和氮化,保证焊接和切割质量。例如,在不锈钢、铝合金等材料的焊接过程中,常使用氮气作为保护气体。 - 防止食品氧化:氮气可以用于食品包装中,排除包装内的空气,形成惰性环境,防止食品氧化变质,延长食品的保质期。比如薯片、饼干等膨化食品的包装中通常会充入氮气。 - 电子工业:在半导体制造过程中,氮气被用作保护气,以防止硅片等电子元件在加工过程中受到氧化和污染,确保产品的性能和质量。 - 合成氨:氮气是合成氨工业的重要原料之一。在一定条件下,氮气与氢气反应生成氨($N_2 + 3H_2 \stackrel{高温高压、催化剂}{=\!=\!=} 2NH_3$),氨是生产化肥、硝酸等化工产品的重要基础原料。 - 制冷与低温技术:液氮是一种良好的制冷剂,由于其沸点极低(-196℃),可以用于低温超导、食品速冻、生物样本保存等领域。例如,在医学上,液氮可用于保存生物组织和器官;在食品行业,可用于快速冷冻水果、蔬菜等,保持其新鲜度和营养成分。 医疗领域 - 麻醉辅助:氮气有时可作为麻醉剂的载体或辅助气体,在一些特定的麻醉过程中发挥作用,帮助患者放松并进入麻醉状态 。 - 医疗气体供应:在一些医疗设备中,如呼吸机、麻醉机等,氮气可用于调节气体混合比例,确保提供给患者的氧气和其他气体的浓度准确稳定。 科研领域 - 实验用气:在许多科学实验中,氮气被用作惰性环境气体,以避免实验物质与空气中的成分发生反应,保证实验结果的准确性。例如,在一些高精度的分析仪器中,如质谱仪、色谱仪等,需要使用氮气作为载气或保护气。 其他领域 - 轮胎充气:氮气可以充入汽车轮胎中,相比普通空气,它能保持轮胎压力的稳定,减少轮胎磨损,提高燃油经济性,并增强行车安全性 。 - 电子设备清洁:利用氮气的惰性和干燥特性,可用于清洁电子设备内部的灰尘和杂质,避免静电对电子元件造成损害 。
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