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中国是怎么样突破光刻机 抽阿斯麦嘴巴的 当 ASML 前 CEO 彼得・温尼克 2024 年 4 月还在宣称 "维修限制影响有限" 时,恐怕不会想到一年后自家设备在中国市场的占有率已从 85% 骤降至 52%,对华营收占比也从四成缩水至两成。这场被外媒视为 "全球半导体产业链重构" 的博弈中,中国用自主创新的硬实力,对长期垄断高端光刻机市场的 ASML 给出了最有力的回应。 封锁倒逼:从 "囤货应急" 到 "自主破局" 的转身 2022 年美国启动芯片设备出口限制,2023 年荷兰跟进管控 NXT:2050i 等先进 DUV 机型,ASML 不仅停止对华出口 EUV 光刻机,连既有设备的维修备件都逐渐断供。绝境之下,中国半导体产业没有陷入停滞,反而开启了从 "被动防御" 到 "主动突破" 的战略转型。 2024-2025 年中国市场占 ASML 销售额比例一度飙升至 42%,这种 "应激性采购" 背后,是国内企业为自主研发争取时间的战略布局。当 ASML 沉浸在短期销售数据的狂欢中时,上海微电子已悄然完成 28nm 浸没式光刻机的量产突破,年产能超百台,良率突破 82%,国产化率更是高达 90%,顺利进入中芯国际等头部企业产线验证。2024 年 9 月,工信部将 193nm 氟化氩深紫外线光刻机纳入首台套推广目录,标志着国产设备正式从实验室走向产业化战场。 ASML 曾笃定 "中国需求下滑是特殊时期的特殊现象",却没料到这种下滑恰恰是国产替代的直接证明。2025 年上半年中国光刻机进口金额同比下滑 28%,国产设备市场份额已超四成,曾经被视为 "命脉" 的进口依赖正在被逐步瓦解。 体系破局:从核心部件到生态构建的突围 光刻机十万级精密部件的协同难题,曾是 ASML 嘲讽 "中国造不出光刻机" 的底气。但中国用产业链协同创新,逐一击碎了这些质疑。华卓精科的双工件台、蓝特光学的反射镜等核心部件国产化率已超 65%,彻底改变了关键部件 "卡脖子" 的困境。 在最关键的光源领域,哈工大攻克 13.5nm 极紫外光源稳定性难题,中科院固体激光器实现国际顶尖水平的电光转换效率,为国产 EUV 光刻机原型机落地奠定了核心基础。#阿斯麦 #中美博弈 #光刻机
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