光刻机和光刻胶是微电子制造过程中的两个核心元素,他们在半导体芯片的生产中发挥着至关重要的作用。尽管他们的工作性质和应用场景有所不同, 但他们共同协作以确保微细图形的精确加工和电路图案的高质量呈现。首先,让我们深入了解光刻机的工作原理和功能。光刻机是一种精密的机械设备, 他利用特殊的光源将集成电路的图案映射到龟片表面。这个过程需要极高的精度和稳定性, 因为任何微小的偏差都可能导致电路功能失效或性能下降。光刻机的主要功能是将预定的电路图案准确的转移到龟片上,为后续的电镀时刻等工艺步骤做好准备。这些工艺步骤将进一步塑造和优化电路图案,最终实现高性能的半导体芯片。而光刻胶在光 刻过程中也起着至关重要的作用。光刻胶是一种对光敏感的有机化合物,被涂附在龟片表面,然后通过紫外光曝光。曝光后,光刻胶在显影液中的溶解度会发生变化,从而形成与预定电路图案相对应的微细图形。 这种溶解度的变化是由于光刻胶分子结构的改变所引起的。光刻胶可以分为正性光刻胶和负性光刻胶,主要区别在于光刻过程中理化性质变化不同。正性光刻胶在曝光区域会发生化学反应, 使其变得更易溶解。而复性光刻胶则在曝光区域发生胶连反应,使其变得更难溶解。这种差异使得正性光刻胶适用于制作复性图案,而复性光刻胶适用于制作正性图案。总的来说,光刻机和光刻胶在微电子制造过程中都扮演着不可 或缺的角色。光刻机主要用于图案转移,而光刻胶则作为图副材料,在龟片表面形成电路图案。只有这两者的紧密配合和协同工作,才能实现微电子技术中微细图形加工的精确性和高效性,为高性能半导体芯片的生产提供有力的支持。
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今天来聊一聊一个不为人知的芯片卡脖子技术,光刻胶。光刻胶呢,是一种特殊的化学物质,它的市场规模很小,仅占芯片市场规模的百分之一。但是呢,它的保质期只有六个月,没办法大量囤积,而且制造很难,因此啊,成为了对我国实行芯片制裁的最佳工具。 很多人都听说过光刻机,但是没了光刻胶,光刻机呢,也没办法用,这就像只有相机,但是没有感光材料也拍不出照片。那么光刻胶啊,就像相机里的底片,遇到光会发生反应而显影。 在光刻技术里啊,我们先把芯片的电路图制作成眼膜,有导线的部分呢,是透光的,没有导线的部分呢,就不透光。然后呢,把光刻胶涂在芯片的晶原表面,让光透过眼膜照射到一部分光刻胶上, 这样呢,透光的部分就发生曝光,就相当于把电路刻印到了精元上,这也是为什么叫做光刻的原因。光刻胶经 过曝光、显影和烘干等工艺步骤之后,就形成了芯片电路的样子,然后呢,是通过化学石刻来刻实芯片表面,最终呢,造出真正的电路。光刻胶之所以这么难造,主要有两个原因,首先呢,是因为对质量的把控极其之严格, 比如单体环节,需要保证单体纯度达到百分之九十九点九以上,孵化清单体中的金属离子的含量要在一 ppb 以下,用在树脂环节中啊,环境温度的微小变化都会影响聚合物的质量。 第二,光刻胶的生产认证流程极其复杂,客户需要验证二到三年,测试五十批次以上,因此啊,一些提前入局的玩家就有了先发优势,积累了很多专利,构建了技术壁垒。 核销市场长期被日本和美国公司垄断,其中日本企业占据了市场份额的大部分。那么除了美日,韩国政府和企业也正 在加大对光刻胶领域的投入和研发,以推动国产化的进程。其中啊东晋半导体公司已经成功将 eov 光刻胶国产化指量产水平,并且被三星电子等公司啊应用于芯片工艺生产。尽管韩国的 eov 光刻胶量产已经取得了一些进展,但是仍然对日本的依赖度很高。 相比之下,我们国家的光刻胶在高端市场的国产化进展就相对比较慢了,特别是在氟华亚光刻胶啊这些高端产品方面, 国产化率仍然不足百分之五。南大光电是其中一个在福华亚光合焦领域取得比较大进展的公司,已经在下游客户的存储芯片和逻辑芯片上通过了认证。 同时啊,该公司已经建成了光客车间和生产线,加快了富华亚光客交产业化的步伐,并且正在推进产品验证工作,以满足客户多样化的需求。然而,南大光店在二二年 的年报中就提到,虽然光合胶市场增长良好,但是啊,高端光合胶市场长期被国外巨头所垄断,这就为中国芯片制造造成了卡波斯奉献。因此,国内企业在高端光合胶领域的国产化进程仍然需要进一步加快,降低对进口光合胶的依赖程度, 提升国内半导体产业的自助可控性。还想听我讲什么新面技术,记得关注加留言,我是新面工程师,老师听得懂的,别忘了给我个小红心。

那么光合胶的生产工艺具体是怎样呢?它的主要过程是将感光材料、树脂、溶剂等主要原料在恒温恒湿一千几的黄光区接近黄金混合, 在氮气气体保护下充分搅拌,使其充分混合形成菌香液体,经过多次过滤,并通过中间过程控制和检验,使其达到工艺基础和质量要求。最后做产品检验, 合格后在氮气气体保护下进行包装,打标入库。而且单单装光刻胶的箱子也要做定制,确保箱的材料不会影响光刻胶。这个要做很多实验,而且反复验证才可以。每开发一个试验品都要保存样本和试验材料,结果是需要很大的特殊仓库来保存这些样品才可以。

就算你有光刻剂,没有日本的光刻胶也是白搭。可能大家不知道,比光刻剂更要命的是光刻胶,哪怕没有最先进的 ev 光刻剂,使用 dv 光刻剂也行,再不济使用二手光刻剂都行。 但是没有光合胶的话就惨了,不管你什么光合剂都工作不了,而且光合胶的保质期就几个月,想靠囤货根本不行,最后都烂到家里了。更可怕的是,全球光合胶市场百分之九十以上的份额都被日本垄断,老美都得依赖他。那么如果日本对我们断供掐脖子,我们该怎么办? 光刻胶顾名思义就是种胶水,但这种胶水非常厉害,在芯片制造的过程中,往龟片上滴几滴,就会形成一层薄膜,然后特殊的光线会通过一个具有特定图案的眼膜往薄膜上照一照,照完后再进行一系列的时刻清洗工作, 之后,眼膜上的图案就会转移到光刻胶薄膜上面。这种薄膜图案在经过多次迭代,并连同其他多个物理化学过程,最终就会形成集成电路。那光刻胶在芯片制造中有多重要?这么说吧,就算是非常牛叉的 ev 光合剂,没有相应的光刻胶,最后精度也达不到要求。 三星集团 ceo 就曾表示,如果光刻机缺少了光刻胶,那么光刻机就是一堆废铁。而在光刻胶领域,百分之九十以上的份额都被日本垄断,老美都得依赖他。 十纳米支撑以下的光合胶基本上只有日期能够生产,其中东京硬化在 uv 光合胶市场的份额更是超过百分之五十。光合机被卡用过二手的光合机也行,但光合胶被卡就只能干瞪眼了。可能大家不知道,光合胶种类多达两百多种,每款芯片所需光合胶从几种到几十种不等, 而且保质期只有六个月,靠囤货根本不行。更重要的是,光刻胶生产商需要购买光刻机来进行相关配方测试,而光刻机不仅价格昂贵,而且国外还处处显瘦。 可能有人会说了,光刻胶只是个胶水而已,能有多难,难道我们造不出来吗?论复杂性,光刻胶肯定是比不上光刻机的,中国当然也能造,最主要的原因还是光刻胶市场太小了,也就占全球半导体市场规模的百分之一。 为了这百分之一举全国智力搞突破不划算。像中兴国企这么大的厂子,一年光客交的采购量也就四到五个亿。 在这,日本在光合交领域的专利积累优势巨大,专利申请量占全球光合交专利总申请量的百分之四十六,而中国只有百分之七。当然了,也不是说完全不懂,也有企业在做这个事情。比如二零二零年十二月底,南大光电 成功研发出我国自主开发的第一款一百九十三纳米的 aif 光刻胶,并通过客户验证。还有苏州瑞红、北京科华、容纳感光、上海信阳等,他们在半投的领域用量最大的开胶、 a 胶方面都取得了阶段性突破。 虽然目前 ev 光合胶领域国内暂时处于空白,连门都还没摸到,毕竟 ev 光合机我们还没有,但至少能满足大部分芯片需求。 假如日本要对我们断孔光刻胶呢?其实跟圆珠笔钢一个道理,之前日却们说笔尖钢有这么复杂,只有日本能造,结果呢,太钢的一炉钢水,一不小心就生产出够全世界用好几年的笔尖钢了。 所以如果日本真要断供,其结果可能导致目前靠光合胶赚钱的日本公司濒临倒闭,继而都被中国企业所替代。本来赚的也是辛苦钱,这下倒好,一毛钱都赚不到了,这不是搬起石头砸自己的脚吗?

就是我们的光刻胶产品啊,那我们的光刻胶的话就是用这种叫加仑瓶的这样的一个包装,嗯啊,是这样,他这一加仑的话是不到四公斤啊,这是我们的产品,像我们给到客户的话,也就是用的这样的一个包装,是给到客户的就制作芯片就是利用这个光刻胶。 对对对,是的,这里面就是我们的小 af 的光刻胶啊,他目前的话主要应用在那个芯片制造领域啊,可以说所有的芯片都离不开光刻胶,从光刻胶到我们芯片的制造过程当中,他经过一个繁杂的一个过程,这样一个过程大约是经过多少步? 在整个的芯片制造过程中啊,他可能要需要有上千步。嗯,那在这个上千步工艺中呢,有其中有四十多道光刻,那每一道光刻都需要用到这个光刻胶,嗯啊,是这 这样的,嗯,那这个光刻胶的话在这个过程中啊,是个非常不可或缺的啊,一种材料,嗯啊,我们通常把它称之为叫半导体材料中皇冠上的明珠。 刚才你也说到了哈,我们的芯片非常的重要,但是我们光刻胶的国产化,目前的国产化竟然不到百分之十,您觉得是什么原因导致了这个比例非常的低?为什么很多的企业还不愿意投资这个项目? 这个原因啊,就我们分析下来其实有几点啊?首先第一个就是光合胶,他确实是很难的, 一个是它的一些核心的技术,还有就是它的一个生产工艺都是相对是比较难的。嗯,一件事情,嗯,它的里面的话有设计,因为它是一个配方化学品,它里面的组份非常的多啊,每个组份都扮演了非常重要的角色。嗯,那这些材料你如何去一一的去攻克它 啊?嗯,这个的话是是一件比较难的事情。嗯,还有就是这个材料他对这个产品的这个生产工艺,生产加工的这个整个全流程的管控是非常的关键。嗯啊,是这样的,那像 它这个材料它的颗粒度需要控制到非常极低的这样一个水平。嗯啊,它里面的金属含量也要控制到像一个 ppb 这样的一个级别。嗯,那这是一个非常难做到的一件事情,它需要整个的全流程的一个管控。嗯,才能够。

光刻胶由感光、树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体光刻胶,按其形成的图像分类有正性附近两大类。 凡是在能量术、光术、电子术、离子术等的照射下,以交连反应为主的光刻交称为副交,在显影时被曝光区域被除去。凡是在能量术的照射下,以降解反应为主的光刻交称为正交,在显影时曝光区域被除去。


什么是光克胶?光克胶又称光质抗石剂,是指通过紫外光、电子术、离子术、 x 射线等照射或辐射,其溶解度发生变化的耐实际刻薄膜材料,目前被广泛用于光电信息产业的微细图形线路加工制作, 约占芯片制造材料总成本的百分之四,是重要的半导体材料。光刻胶是光刻成像的承载介质,能够利用光化学反应,经过曝光、显影等光刻工艺, 将所需要的微细图形从眼膜板转移到带加工机片上。按其形成的图像分类有正胶和副胶。按曝光光源和辐射源的不同,又分为紫外光刻胶、深紫外光刻胶、 x 射线胶、电子树胶、离子树胶等。 按照应用领域,光客胶可分为半导体光客胶、 lcd 光客胶和 pcb 光客胶,其技术壁垒依次降低。从国产化进程来看, pcb 光客胶目前国产替代 进度最快, lcd 光客交替代进度相对较快。而在半导体光客交领域,国产技术叫国外先进,技术差距较大。

盘点世界七大光刻交企业,韩国的东晋世美肯以 emc 项目为起点进入半导体材料领域,使得韩国成为全球第四个掌握该项技术的国家。 日本的注有化学业务涵盖广泛,其光刻胶业务属于信息电子化学,主要包含挨线、 k r f a r f u v 光刻胶等。 日本的复式胶片,最早致力于感光材料产品的生产的企业之一,在胶片业务中积累了深厚的光学和化学优势。 日本的信乐化学,日本最大的化工企业之一,其在 pvc、 半岛体龟等多个领域处于国际龙头地位。日本的 gsr 成立于一九五七年,全球光客交领先生产商,光客交全球市占率约百分之十三。美国的杜邦企业,业务范围涵盖食品、 保健、服装、建筑、交通等生活领域,占据百分之十七点六的光刻胶市场份额。日本的东京硬化产品覆盖橡胶型复兴光刻胶、 g 线光刻胶、 i 线光刻胶、 kr 光刻胶、 arf 光刻胶、 uv 光刻胶、电子光束光刻胶等。

光刻胶利用光化学反应,经曝光、显影等光刻工艺,将所需要的微细图形从眼模板转移到代加工机片上,是用于微细加工技术的关键性电子化学品。 优秀的光刻胶公司由美国的安置、日本的职业萨尔、东京硬化、信誉化学、复式胶片等公司。我国大陆的光刻胶四巨头分别是苏州瑞红、南大光电、上海新阳、北京科华。虽然国产光刻胶主要应用于低端领域,但一定会后来居上。