mocvd外延片工艺流程

m o c v d 全名为金属有机化学气象沉积，又可叫做金属有机气象蔓延，是一种在精元上沉积超薄单精藏的技术。 m c v d。 是将金属有机化合物作为前躯体，在反应腔中，这些前躯体在高温下热分解，释放出金属元素，随后金属元素在衬底表面形成薄膜。 m o c b d。 不仅用于深化家、淡化家、碳化硅等半导体材料的沉积，还可以用于铜、铝等金属单制的沉积，甚至可以用于磷化物等非金属材料的沉积，在光电子和高功率电子器件中应用十分广泛。

m o c v d a m h s。 智能物流系统 m o c v d a m h s。 智能物流系统主要分为导片区设备和 m o c v d。 公益设备区设备 主要包括精元导片机、电子货架、导片区定制 agv 和 agv 充电设备、 mocvd 工艺设备、 mocvd 中转单元、 公益设备区定制 agv 和 agv 充电设备。 mocvd 工艺设备以外的其他设备均由上海福塞特机器人有限公司提供。 mocvdamhs 智能物流系统主要包含上片和下片两个流程， 人工将干净的 石磨盘运到电子货架并扫码上料。电子货架搬运单元把石磨盘周转到存储位进行存储备用。定制 agv 接收到 mass 系统发出的调度指令，请到电子货架领取石磨盘， 并运载到金元岛片机与定制 agv 接口处，由金元岛片机搬运单元将石墨盘搬运至金元岛片机 fop 中。 两台智能机器人协同工作，将金元从 casi 到石磨盘进行周转和放置，直至上片完成。搬运单元将上满金元物料的石磨盘搬运至 agvajv， 运载 石磨盘返回到电子货架进行存储。当 mocvd 工艺设备有生产需求时， mate 系统发送调度指令给 agv。 agb 沿上片路径运行到电子货架领取上片完成后的石墨盘，并将其运载到对应的 mocvd 公益设备区的中转单元。 agv 对接上中转单元后，中转单元将石墨盘搬运送入 mocvd 工艺设备进行工艺生产。 下片流程从 mocvd 工艺设备生产结束后开始， agb 通过中转单元将石墨盘从 mocvd 工艺设备中取出，并愿在此石墨盘返回电子货架进行存储。刀片区 agv 收到 指令，将生产完毕的石磨盘从电子货架运载之金元导片机 fop 中，按照控制指令，两台智能机器人协同工作，进行从石磨盘到 ccet 的有序金源下片。完成下片后， 由 agv 运载石磨盘返回电子货架。电子货架搬运单元搬运石磨盘至人工上下盘位，后续人工再把石磨盘取出并运送到贝克卢进行烘烤， 到此全流程完成，系统按此流程持续循环生产。 mocvdamhs 智能物流系统能够大幅提升公益设备的运行效率， 显著提升产品量率，是 led 半导体高端制造的首选。