这里是车间内的无尘室,刚进到这里,你首先就会注意到这的灯光, 整个空间像是加了一层黄色的滤镜。之所以使用黄光照明,是因为光刻机里要用到感光胶,而感光胶对波长较短的光,像蓝光或者紫光很敏感,会造成提早感光及雾爆的情况, 所以要使用黄光这种波长相对较长的光作为主要照明。在无尘车间中,对于洁净度要求极为严苛。 你们仔细看天花板有很多方形过滤装置,在墙角也有很多山格,这些是车间内的空气循环和过滤装置,车间内的空气要比外面干净十万倍。除此之外,你看看周围的工作人员们,每一个都全副武装着, 进来车间前还要全方位消毒,因为人是无尘车间最大的污染源,我们每天脱落大约十亿个皮肤威力,而这些威力啊,要是掉进了机器里,极有可能引发大问题。
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我现在来到了光客区,光客工艺啊,是生产制造 tr 组件的关键工艺,大家可以看到这间屋子的灯光是黄色的,并不是因为这种灯光好看, 而是因为啊,我们这个光刻工艺使用的光刻胶,它是一种光敏材料,不能轻易的暴露在有紫外线的环境里,而这种黄光呢,就是不含紫外线的。